Wafer Bonding: Applications and Technology (Springer Series in Materials Science Book 75)

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Produktdetails

Artikelnummer 233379559 Erscheinungsdatum 2026/06/27 Listenpreis €94.76 Modellnummer 233379559
Kategorie

During the past decade direct wafer bonding has developed into a mature materials integration technology. This book presents state-of-the-art reviews of the most important applications of wafer bonding written by experts from industry and academia. The topics include bonding-based fabrication methods of silicon-on-insulator, photonic crystals, VCSELs, SiGe-based FETs, MEMS together with hybrid integration and laser lift-off. The non-specialist will learn about the basics of wafer bonding and its various application areas, while the researcher in the field will find up-to-date information about this fast-moving area, including relevant patent information. Read more

ASIN B000TDYE3W
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ISBN13 978-3662108277
Edition 2004th
Language English
File size 9.9 MB
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Publisher Springer
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Print length 499 pages
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Part of series Springer Series in Materials Science
Publication date March 9, 2013
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